紫外線でできること
洗浄と改質
Cleaning & Modifying
紫外線による洗浄・改質(UV cleaning ＆ modifying)は、低圧水銀ランプから発光する短波長紫外線の持つエネルギーとそれにより発生するオゾン(O3)の力で、素材表面の有機系皮膜除去やプラスチック表面の親水化による密着力・接着力を向上させる洗浄表面改質方法の一つです。
製品事例
Products
ロボット搬送により、
ワークの供給から収納まで
ロボット搬送タイプ
SKＭシリーズ
｜スタンドアローンロボット搬送タイプ｜量産用｜
大量生産に対応した自立型のロボット搬送タイプです。お客様のニーズに合わせてカスタマイズします。
お客様の要望に合わせてカスタマイズ
アームクリーンロボットを搭載した紫外線照射装置です。最大12インチのウエハを供給→搬送→紫外線処理→収納までの一連の作業を自動で行います。
快適な操作性を追求
ウエハの搬送に最適なアームクリーンロボットを搭載。ウエハを高速・高精
度に安定搬送します。また、ウエハ以外のワークでも対応できる高精度な搬送機を各種取り揃えています。
度に安定搬送します。また、ウエハ以外のワークでも対応できる高精度な搬送機を各種取り揃えています。
最大300mm（12インチ）ウエハまで対応まで対応
最大300mm（12インチ）までの対応装置の製作が可能です。ウエハ以外
の材料、ガラス基板などでも、形状や大きさに合わせた最適な紫外線照射装置をご提案します。
の材料、ガラス基板などでも、形状や大きさに合わせた最適な紫外線照射装置をご提案します。
紫外線照度測定モードで安定した処理が可能
紫外線ランプは、使用時間と共に照度が減衰していきます。紫外線照度測定モードは、予め処理前に照度を自動測定し、測定された紫外線照度値から必要な照射時間を自動で計算して設定します。常に一定の紫外線照射量で安定した処理が行えます。
光を設計する技術力
紫外線照射量の算出や紫外線ランプの最適配置、有効照射エリアの紫外線分布など光の設計技術力で、無駄の無い的確な性能設計を行います。
また、ワークへの処理温度や必要照度などお客さまのニーズにあわせて最適化した紫外線照射装置をご提案します。
また、ワークへの処理温度や必要照度などお客さまのニーズにあわせて最適化した紫外線照射装置をご提案します。
より安全にご使用できます
外部へのオゾン漏れや紫外線漏れのない安全な紫外線照射装置です。
点灯中に扉を開けると、自動でランプが消灯するインターロック機能を標準で装備しています。
排オゾンブロワ・ホースを標準装備
紫外線ランプから発生するオゾンの排気や紫外線ランプの冷却のためのブロワを付属品として用意しています。排オゾンは外部へ排出するか、触媒等で分解処理してから排気して下さい。
量産設備は、多くの案件でお客様のご要望に応じた仕様変更・設計変更を行い、一品一様で製作させていただいています。
お気軽にお問い合わせください。
量産設備は、多くの案件でお客様のご要望に応じた仕様変更・設計変更を行い、一品一様で製作させていただいています。
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